一、洁净室等级标准

洁净室按空气清洁程度分类，如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸为0.5μm。

例如，1级、10级、例如100级无尘室最大尘埃粒子数目分别小于或等于1颗、10颗、100颗。

如果尘粒尺寸不是0.5μm，无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示，分别分为1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级，数值越小，净化级别就越高。洁净度越高造价就越高。

二、各行业对洁净度等级的要求

一级净化车间：主要用于制造集成电路的微电子工业，对集成电路的精确要求为亚微米。10级：主要用于带宽小于2微米的半导体工业。

百级净化车间：可用于医药工业的无菌制造工艺等。

千级净化车间：主要用于高质量光学产品的生产，还用于测试，装配飞机陀螺仪，装配高质微型轴承等。

万级净化车间：主要用于液压设备或气压设备的装配，某些情况下也用于食品饮料工业，此外，万级洁净室在医工业中也很常用。

十万级净化车间：十万级洁净室用于很多的工业部门，比如光学产品的制造，用于较小的元器件制造大型的电子系统，液压或气压系统的制造，食品饮料的生产，医、药工业也常常使用。